按性能特点和用途分类
（1）低真空泵
泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
（2）中真空泵
极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
（3）高真空泵
极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
（4）超高真空泵
极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
按工作原理和结构特点分类 真空泵维护与保养：
1.泵及其四周环境应经常保持清洁，防止杂物进入泵内。
2.泵的运转过程中，油箱内的存油量不得低于油标中心。
3.不同种类和牌号的真空泵油，不可混合使用。
4.泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的管道，防止喷油、污染场地。
5.泵由于存放或使用不当，水份或其它挥发性物质进入泵内而影响极限真空时，可开气镇阀净化之。当泵油受到机械杂质或化学杂质污染时，应更换泵油二换油步骤如下:先开泵运转约半小时，使油变稀，停泵!旋下放油塞，放出脏油，再敞开进气口运转1-2分钟，此间可从进气口缓缓加入小量清洁的真空泵油，冲洗泵芯。脏油放回后，将放油塞旋上，并拧紧:旋下加油塞，利用漏斗，从加油口加入清洁的真空泵油，旋上加油塞。
6.泵不用时，应用橡皮塞帽，把进、排气口塞好。以免脏物落入泵内。
7.倘若泵在工作过程中被污染，则须进行拆洗。这项工作需要慎重。注意拆装步骤，以免损坏机件。
（1）机械式容积真空泵
靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。
（2）射流式真空泵
没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。
